二氧化硅微粉也稱硅灰，通常是冶煉金屬硅或硅鐵合金的副產(chǎn)物。在生產(chǎn)多晶硅及硅鐵的過程中，一部分SiO2被還原為SiO氣體，SiO氣體排出爐外，遇到氧氣又重新被氧化生成二氧化硅微粉。所以，它實際是氣相沉淀法生產(chǎn)的一種氧化硅。

二氧化硅微粉的形貌呈標準圓球形，平均粒徑大小在0.15μm左右，比表面積在15-30m2/g之間，具有較高的化學活性。二氧化硅微粉不可燃，對人體的危害性較小。

二氧化硅微粉中的SiO2的含量在87-98%之間，其化學活性與SiO2的含量有關。一般來說，SiO2的含量越高，其表面積越大，活性也就越高。通常冶煉硅鐵合金所得到的二氧化硅微粉中SiO2含量比金屬硅所得到的二氧化硅微粉要低。而且，不同廠家生產(chǎn)的二氧化硅微粉一般具有較大的化學成分組成差異，導致其化學性質(zhì)也有較大的差異。例如，與生產(chǎn)金屬硅而收集到的二氧化硅微粉相比，通過用鋯英石生產(chǎn)脫硅鋯時收集到的二氧化硅微粉的平均粒徑相對較小，其包含雜質(zhì)的堿性氧化物含量較低，導致其在水溶液中的pH值相對較低，在澆注料內(nèi)部能夠降低澆注料的粘度，使?jié)沧⒘系牧鲃有缘靡蕴岣卟⒀娱L澆注料使用壽命，因而在不定形耐火澆注料中的用量相對較大。